规格

X500L

X500

测试方法

相位差

最大测试尺寸

610×500mm

最小测试尺寸

不限

板厚测试范围

0.05-3.2mm

飞针探头数目

2上

CCD Cameras数目

2上

最小Pad Pitch

120μm

80μm

最小Pad Size

75μm

50μm

重复精度

±10μm

±3μm

分辨率

6μm

2μm

板架系统

真空吸盘

自动标记系统

可选配

空压要求

0.3-0.4Mpa，5.7L/min

外型尺寸

150×135×115cm

重量

1100kg